Automatisierung im MEMS Entwurf

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Artikelnummer:
1207809
  • Produktbeschreibung

    Automatisierung im MEMS Entwurf

    Diese Arbeit verfolgt einen neuen Ansatz bei der Modellierung der Mikromechanik in Systemen der Mikrosystemtechnik: Die Modellierung geschieht auf der Grundlage eines Baukastens von Modellen für Basis-Effekte.§Die Modellgleichungen der Effekte basieren auf analytischen Gleichungen, die wenig Rechenzeit benötigen und die somit für Systemsimulationen bestens geeignet sind.§Die Modelle wurden in der analogen Hardwarebeschreibungssprache VHDL-AMS (IEEE 1076.1) implementiert, die eine Co-Simulation von Elektronik und Mechanik in Schaltungssimulatoren unterstützt.§Ein Layoutgenerator erstellt dabei das Layout der siliziumbasierten mikromechanischen Strukturen.§Ein Synthesewerkzeug mit integrierter Anwenderoberfläche stellt auf Basis funktionaler Größen die erforderlichen Daten für die kohärente Layoutgeneration und Modellbildung zur Verfügung. Dies unterstützt den Entwurf von mikroelektromechanischen Systemen (MEMS) nach dem Top-Down-Verfahren.§Die Methode wird anhand mikromechanischer Demonstratoren veranschaulicht: einem Drucksensorsystem, einem Gyroskopen, einem Beschleunigungssensor und einem Mikrospiegelsystem.
  • Zusatzinformation

    Autor
    Bindung
    Taschenbuch
    Verlag
    VDM Verlag Dr. Müller
    ISBN / EAN
    9783639049237
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